Ffynhonnell: mtiinstruments
ASTM F657:
Y pellter trwy wafer rhwng pwyntiau cyfatebol ar yr wyneb blaen a chefn. Mynegir trwch mewn micronau neu fils (miliynau o fodfedd).
Cyfanswm Amrywiad Trwch (TTV)
ASTM F657:
Y gwahaniaeth rhwng gwerthoedd uchaf ac isaf y trwch y deuir ar eu traws yn ystod patrwm sgan neu gyfres o fesuriadau pwynt. Mynegir TTV mewn micronau neu fils (miliynau o fodfedd).
Mae'r ffigur uchod yn dangos afrlladen wedi'i osod rhwng dau stiliwr mesur digyswllt. Trwy fonitro newidiadau rhwng wyneb y stiliwr uchaf ac arwyneb y wafer uchaf (A) ac wyneb y stiliwr gwaelod ac arwyneb y wafer gwaelod (B), gellir cyfrifo trwch. Yn gyntaf rhaid graddnodi'r system â wafer ar drwch hysbys (T w ). Mae'r arwynebedd o drwch hysbys yn cael ei osod rhwng y stilwyr a bwlch chwiliedydd uchaf i wafer (A) a chaiff bwlch chwiliedydd i wafer is (B) is. Yna cyfrifir cyfanswm y bwlch (Gtotal) rhwng y stilwyr uchaf ac isaf fel a ganlyn:
Cyfanswm G = A + B + T w
Gyda'r system wedi'i graddnodi, gellir mesur wafferi o drwch anhysbys bellach. Pan osodir y wafer rhwng y stilwyr, ceir gwerth newydd A a B. Cyfrifir trwch fel a ganlyn:
Cyfanswm T w = G - (A + B)
Yn ystod sganio awtomatig o'r wafer, cymerir a storir cyfres o fesuriadau pwynt. Ar ôl cwblhau'r sgan, cyfrifir TTV fel a ganlyn:
TTV = T max - T min
MESUR BOW CYSYLLTU Â BOW
ASTM F534 3.1.2:
Gwyriad pwynt canol arwyneb canolrif afrlladen rydd, heb lamp o'r awyren gyfeiriol ganolrif a sefydlwyd gan dri phwynt wedi'i osod yn gyfartal ar gylch â diamedr swm penodol yn llai na diamedr enwol y wafer.
Arwyneb Canolrif:
Locws pwyntiau yn y wafer sy'n gyfochrog rhwng yr arwynebau blaen a chefn. Wrth fesur a chyfrifo bwa, mae'n bwysig nodi bod yn rhaid gwybod arwyneb canolrif lleoliad y wafer. Trwy fesur gwyriadau arwyneb canolrif, mae amrywiadau trwch lleol yng nghanol y wafer yn cael eu tynnu o'r cyfrifiad.
Uchod yn dangos perthynas arwyneb canolrif y wafer rhwng y ddau wyneb stiliwr lle:
D = Pellter rhwng wyneb y stiliwr uchaf ac isaf
A = Pellter o'r stiliwr uchaf i arwyneb y wafer uchaf
B = Pellter o'r stiliwr isaf i wyneb y wafer gwaelod
Z = Y pellter rhwng arwyneb canolrif y wafer a'r pwynt hanner ffordd rhwng y stiliwr uchaf ac isaf (D / 2)
I bennu gwerth Z mewn unrhyw leoliad ar y wafer, mae dau hafaliad:
Z = D / 2 - A - T / 2 a Z = -D / 2 + B + T / 2
Gan ddatrys y ddau hafaliad ar gyfer Z, gellir pennu'r gwerth yn syml trwy:
Z = (B - A) / 2
Gan fod bwa yn cael ei fesur yng nghanol y wafer yn unig, cyfrifir awyren gyfeirio tri (3) pwynt am ymyl y wafer. Yna cyfrifir gwerth bwa trwy fesur lleoliad yr arwyneb canolrif yng nghanol y wafer a phenderfynu ei bellter o'r awyren gyfeirio. Sylwch y gall bwa fod yn rhif positif neu negyddol. Mae positif yn dynodi bod canolbwynt yr arwyneb canolrif yn uwch na'r awyren gyfeirio tri phwynt. Mae negyddol yn dynodi bod canolbwynt yr arwyneb canolrif yn is na'r awyren gyfeirio tri phwynt.
MESUR WARP AR GYFER Y DIWYDIANT SOLAR
ASTM F1390:
Y gwahaniaethau rhwng pellteroedd uchaf ac isaf arwynebau canolrif afrlladen rydd, ddi-lamp o fan cyfeirio. Fel bwa, mae ystof yn fesur o'r gwahaniaeth rhwng arwyneb canolrif afrlladen ac awyren gyfeirio. Mae Warp, fodd bynnag, yn defnyddio arwyneb canolrif cyfan y wafer yn lle dim ond y safle yn y canolbwynt. Trwy edrych ar y wafer cyfan, mae ystof yn mesur mwy defnyddiol o wir siâp afrlladen. Mae lleoliad yr arwyneb canolrif yn cael ei gyfrif yn union fel y mae ar gyfer bwa a'i ddangos uchod. Ar gyfer penderfynu ystof, mae dau ddewis ar gyfer adeiladu'r awyren gyfeirio. Mae un yr un awyren tri phwynt o amgylch ymyl y wafer. Y llall yw trwy berfformio cyfrifiad ffit lleiaf sgwâr o ddata arwyneb canolrif a gafwyd yn ystod y sgan mesur. Yna cyfrifir ystof trwy ddarganfod y gwyriad mwyaf o'r awyren gyfeirio (RPD max ) a'r gwahaniaeth lleiaf o'r awyren gyfeirio ( min RPD). Diffinnir max RPD fel y pellter mwyaf uwchben yr awyren gyfeirio ac mae'n rhif positif. RPD min yw'r pellter mwyaf o dan yr awyren gyfeirio ac mae'n rhif negyddol.
Mae'r ffigur uchod yn enghraifft o'r cyfrifiad ystof. Yn yr enghraifft hon mae RPDmax yn 1.5 ac fe'i dangosir fel pellter mwyaf yr arwyneb canolrif uwchben yr awyren gyfeirio. RPDmin yw - 1.5 ac fe'i dangosir fel pellter mwyaf yr arwyneb canolrif o dan yr awyren gyfeirio. Sylwch fod ystof bob amser yn werth cadarnhaol.
Warp = 1.5 - (-1.5) = 3
Mae hefyd yn dangos defnyddioldeb cymryd darlleniadau bwa a ystof. Mae arwyneb canolrif y wafer a ddangosir yn croestorri'r awyren gyfeirio yn y ganolfan wafer, felly, byddai mesur bwa yn sero. Mae'r gwerth ystof a gyfrifir yn fwy defnyddiol yn yr achos hwn gan ei fod yn dweud wrth y defnyddiwr fod gan y wafer afreoleidd-dra siâp.